PI코리아의 V-308 보이스코일 PIFOC Z축 포지셔너
PI코리아의 V-308 보이스코일 PIFOC Z축 포지셔너
  • 신현성 기자
  • 승인 2021.05.11 15:16
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게놈 시퀀싱, 다광자 형광 현미경, 심층 조직 검사, 레이저 가공, 웨이퍼 검사, 마그네틱 핀셋 등 현미경 및 산업 연구 분야에서는 긴 이동 범위, 높은 역동성, 정밀도를 갖춘 수직 포지셔닝 시스템이 요구되고 있다. 이에 PI가 모든 요구 사항을 통합하는 새로운 V-308 보이스코일 PIFOC을 출시, Magnetic Direct Drive 기반 솔루션을 제공한다.

V-308 PIFOC의 핵심 요소는 단축 슬라이더로, 이슬라이더는 고정밀 크로스 롤러 가이드가 베이스바디에 배치되며, 높은 역동성을 위해 특수 개발된PIMag 보이스코일 모터에 의해 구동된다. 이 슬라이더의 7mm에 달하는 긴 이동 범위는 사용자가 조정 가능한 하드 스톱을 통해 위아래로 제한할 수 있다.

가속도는 최대 8m/s2, 최대 속도는 200mm/s인데, 이로 인해 ±15nm 오류 대역에서 15msec 이내의 step-and-settle times로 100nm 및 250nm 스텝 사이즈가 가능하다. 그리고 고해상도 광학 PIOne 리니어 인코더를 통해 최소 10nm의 높은 정밀도와25nm의 양방향 반복도를 구현할 수 있다. 따라서 포커싱 유닛의 빠른 포지셔닝, 신속한 데이터 수집 및 높은 생산성을 달성한다.

새로운 V-308 PIFOC의 가장 큰 특징은 중력 보상이다. 전원 공급없이 슬라이더와 장착된 부하의 부상을 보장하므로 정전 시 또는 컨트롤러의 전원을 끌 때 낙하로 인한 충돌을 방지한다.

축을 유연하게 사용하기 위해 사용자는 낙하물에 대응하는 힘을 조정하여 최대 1kg의 전체 부하를 보상하므로, 실제로는 축을 세워 사용하지만 수평하게 사용하는 것과 동일한 효과를 준다.

컴팩트한 디자인드라이브는 87 × 77 × 30mm로 컴팩트하며, 어댑터 플레이트를 이용하여 광학 테이블 또는 플레이트에 장착된다. 두 개의 다른 대물렌즈 홀더(수직 또는 수평 마운팅용)와 M32 X 0.75 크기까지 다양한 직경의 대물렌즈용 어댑터 링 세트를 사용한다.

기본적으로 V-308 PIFOC는 특수 개발된 C-414컨트롤러와 함께 제공된다. 또한 EtherCAT 기능이내장된 ACS 컨트롤러로 축을 구동한다. 사용자는 서보 컨트롤 매개변수(“gain scheduling”)를 능동적으로 제어하며, ServoBoost와 같은 다른 ACS 기능과 함께 성능을 더욱 향상시킬 수 있다.


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